气浮超精密晶圆研磨电主轴
01 高精度
由于气体静压轴承的均化效应及高达0.2μm的零件加工精度, 该主轴具有超高的回转精度。
02 高刚性、低振动
轴向刚度可达400N/μm,径向刚度可达100N/μm。运行过程中低振动,保证加工过程的稳定性。
03 长寿命
采用气体静压轴承,非接触,无磨损,长寿命。
04 高配置
配备高性能交流永磁同步电机,大扭矩输出,适用于多种加工应用。
05 高可靠性
采用三段式冷却结构,主轴保持恒温加工,各项性能稳定可靠。
04
直线电机
01 高效率
快移速度比旋转伺服电机提升1倍以上。
02 高精度
双向重复定位精度高达1μm。
03 大推力
连续推力550N-6200N,峰值推力1100N-12000N。
04 高防护等级
IP65高防护等级。
05 超低温升
专利化冷却结构,温升超低<2K。